具有暗化光瞳的大孔径物镜
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种物镜，尤指一种特别在波长≤193nm中使用的微光刻投影物镜，包括有：第一局部物镜(100)，具有至少一个镜体，其中镜体(S1)不具有能由光束穿过的孔；第二局部物镜(200)，具有至少一个主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)，其中主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)都具有能由光束穿过的孔。
基本信息
专利标题 ：
具有暗化光瞳的大孔径物镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101713864A
申请号 ：
CN200910252633.0
公开（公告）日 ：
2010-05-26
申请日 ：
2005-12-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
汉斯-于尔根·曼戴维·谢弗威廉·乌尔里希
申请人 ：
卡尔蔡司SMT股份公司
申请人地址 ：
德国上科亨
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
邱军
优先权 ：
CN200910252633.0
主分类号 ：
G02B17/06
IPC分类号 ：
G02B17/06
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B17/00
有或无折射元件的具有反射面的系统
G02B17/02
反射光系统，例如，影像竖立和倒向系统
G02B17/06
只用反射镜的
法律状态
2018-12-07 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G02B 17/06
申请日 : 20051222
授权公告日 : 20131030
终止日期 : 20171222
申请日 : 20051222
授权公告日 : 20131030
终止日期 : 20171222
2013-10-30 ：
授权
2010-08-04 ：
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101004469899
IPC(主分类) : G02B 17/06
专利申请号 : 2009102526330
申请日 : 20051222
号牌文件序号 : 101004469899
IPC(主分类) : G02B 17/06
专利申请号 : 2009102526330
申请日 : 20051222
2010-05-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
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2、
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