大孔径激光直写物镜
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种大孔径激光直写物镜。包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组、负光焦度的第二群组、以及正光焦度的第三群组;其中第一群组为变形双高斯的结构,有利用消除垂轴色差,比如倍率色差、慧差、像差、畸变等;第二群组由双胶合透镜和三胶合透镜组成,有利于消除系统的轴向色差,第三群组中有一枚弯月型单透镜起到齐明透镜的作用,可以大幅提高数值孔径,所述第二群组为内对焦组,并沿光轴方向移动可调。本发明数值孔径NA值在0.6~1.0之间,通过移动第二群组,达到对双光子光刻胶折射率的变动进行适应,同时扩大了像方视场,且倍率色差在衍射极限内。

基本信息
专利标题 :
大孔径激光直写物镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114488491A
申请号 :
CN202210216895.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-03-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄木旺刘旭匡翠方林法官
申请人 :
浙江大学;福建福特科光电股份有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 :
福州市众韬专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄秀婷
优先权 :
CN202210216895.7
主分类号 :
G02B13/00
IPC分类号 :
G02B13/00  G02B13/18  G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B13/00
为下述用途专门设计的光学物镜
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 13/00
申请日 : 20220307
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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