高数值孔径物镜系统

授权

摘要

公开了一种具有高数值孔径、大工作距离和跨越宽光谱带波长的低光学像差的物镜系统。物镜系统包括第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组。第一透镜组包括被定位成沿着物镜系统的光轴彼此相距一距离的第一和第二弯月透镜。距离可以取决于物镜系统的焦距。第二透镜组包括第一和第二弯月透镜以及双凸透镜。第三透镜组包括双凹透镜和双合透镜。

基本信息

专利标题：

高数值孔径物镜系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN107076966A

申请号：

CN201580052510.6

公开（公告）日：

2017-08-18

申请日：

2015-07-29

授权号：

CN107076966B

授权日：

2022-05-24

发明人：

L·雷日科夫

申请人：

ASML控股股份有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

王茂华

优先权：

CN201580052510.6

主分类号：

G02B13/18

IPC分类号：

G02B13/18 G02B13/14 G03F7/20 G02B27/00 G01N21/88 G01N21/95 G01N21/47