准直物镜调节机构及物镜测试系统
实质审查的生效
摘要
一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，涉及物镜波像差测量技术领域。该准直物镜调节机构包括测量传感器、准直物镜、准直物镜座、弹性结构和调节螺丝；所述准直物镜通过所述准直物镜座安装在所述测量传感器上；所述调节螺丝用于调节所述准直物镜与所述测量传感器之间的相对位置；所述弹性结构用于拉紧所述准直物镜与所述测量传感器。该物镜测试系统包括准直物镜调节机构。本发明的目的在于提供一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的在小空间内准直物镜姿态调整较难的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
准直物镜调节机构及物镜测试系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114486204A
申请号 ：
CN202210156373.2
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-02-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王勇威孙明睿武震田锐李蓉王东海
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
严小艳
优先权 ：
CN202210156373.2
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02 G02B27/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20220221
申请日 : 20220221
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
