一种物镜与检测区域相对位姿的调节机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种物镜与检测区域相对位姿的调节机构，包括光学模块和检测模块，所述光学模块包含光学元件底座，所述光学元件底座一端设有光学检测组件，所述光学检测组件包括物镜，所述物镜通过Z方向调节组件连接所述光学元件底座，所述光学元件底座一侧面两端分别连接有右侧连接件、左侧连接件，所述右侧连接件与所述左侧连接件中间设有Y方向底板，所述Y方向底板通过Y方向导轨滑动连接所述检测模块的X方向底板，所述X方向底板通过X方向导轨滑动连接检测区底板。本实用新型的相对位姿的调节机构，可以实现物镜与检测区域的6自由度位姿调节，每个自由度可单独调节，使检测平台安装简单快速。
基本信息
专利标题 ：
一种物镜与检测区域相对位姿的调节机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122971815.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
CN216718172U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
孙玉婷张鹏
申请人 ：
北京海维尔科技发展有限公司
申请人地址 ：
北京市昌平区高教园北四街7号院13号楼-1层B152
代理机构 ：
北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
苏泳生
优先权 ：
CN202122971815.2
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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