物镜的光瞳像差的补偿
公开
摘要
本发明涉及物镜的光瞳像差的补偿。一种包括物镜(20)的物镜系统，物镜(20)包括一组光学元件，光学元件的光学特性引起物镜的光学像差，光学像差至少包括引起光束的边缘光线相对于光束的主光线的像差的图像像差和引起第一交点相对于第二交点沿物镜(20)的光轴的横向偏移的光瞳像差，第一交点由光轴与具有第一入射角的第一主光线的交点来定义，第二交点由光轴和具有第二入射角的第二主光线的交点来定义，第一入射角不同于第二入射角。系统包括光学补偿元件(25)，光学补偿元件(25)被配置成操纵透过该光学补偿元件(25)的光的传播路径，其中该光学补偿元件(25)相对于物镜(20)被配置和设置成使得由光瞳像差引起的横向偏移减小。
基本信息
专利标题 ：
物镜的光瞳像差的补偿
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594596A
申请号 ：
CN202111375656.8
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-11-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨征
申请人 ：
赫克斯冈技术中心
申请人地址 ：
瑞士赫尔布鲁格
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
党晓林
优先权 ：
CN202111375656.8
主分类号 ：
G02B27/00
IPC分类号 ：
G02B27/00 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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