光学投影系统

专利权的终止

摘要

一种光学投影单元，包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块。第一光学元件模块包括第一外壳单元和至少第一光学元件，第一光学元件容纳在所述第一外壳单元内并具有限定第一光轴的光学用途第一区域。至少一个第二光学元件模块位于所述第一光学元件模块附近，并包括至少一个第二光学元件，所述第二光学元件限定光学投影单元的第二光轴。第一外壳单元具有中央第一外壳轴线以及围绕着所述第一外壳轴线沿着圆周方向延伸的外壁。第一光轴相对于所述第一外壳轴线横向偏置和/或倾斜。另外，第一外壳轴线与第二光轴基本上共线。

基本信息

专利标题：

光学投影系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN102207600A

申请号：

CN201110126344.3

公开（公告）日：

2011-10-05

申请日：

2005-10-01

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

J·拉乌A·朔帕赫B·格尔里赫J·库格勒M·马尔曼T·佩塔施G·菲尔特

申请人：

卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请人地址：

德国上科亨

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

邱军

优先权：

CN201110126344.3

主分类号：

G02B7/02

IPC分类号：

G02B7/02 G02B17/08 G03F7/20