一种借助辐射源松开刚性基板上电子元件的工装和方法
授权
摘要
本发明描述了一种可松开刚性基板上的电子元件的工装及方法,其中所述工装包含辐射源,可用于借助红外线波长范围内的波长形成电磁辐射的加工辐射。控制单元设计借助至少一个执行器,使加工辐射和工装内承载至少一个电子元件的刚性基板相向移动,从而将待松开的电子元件相对向加工辐射处定位。该加工辐射设计用于穿过基板在基板和待松开电子元件之间辐射区域内的待松开电子元件上激发热吸收,从而解除待松开电子元件和基板之间的接合、尤其是粘合剂接合,并且在辐射区域内,加工辐射的至少一个宽度或一个直径覆盖待松开电子元件朝向基板的接触面的宽度或边缘长度。
基本信息
专利标题 :
一种借助辐射源松开刚性基板上电子元件的工装和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN107068591A
申请号 :
CN201710074619.0
公开(公告)日 :
2017-08-18
申请日 :
2017-02-11
授权号 :
CN107068591B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
马赛厄斯·雷曼汉斯·皮得·孟瑟
申请人 :
米尔鲍尔有限两合公司
申请人地址 :
德国罗丁约瑟夫米尔鲍尔广场
代理机构 :
深圳市顺天达专利商标代理有限公司
代理人 :
高占元
优先权 :
CN201710074619.0
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67 H01L21/268
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-29 :
授权
2019-01-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20170211
申请日 : 20170211
2017-08-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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