压印装置、压印方法以及用于制造物品的方法
授权
摘要
本发明涉及压印装置、压印方法以及用于制造物品的方法。压印装置使用模具在基板的投射区域中形成压印材料的图案，并且包括加热机构，该加热机构通过用光照射基板的投射区域来改变基板的形状，其中加热机构包括在基板的投射区域中形成照度分布的多个光学调制器，并且来自多个光学调制器的光束照明投射区域的相互不同的区域。
基本信息
专利标题 ：
压印装置、压印方法以及用于制造物品的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108121155A
申请号 ：
CN201711231748.2
公开（公告）日 ：
2018-06-05
申请日 ：
2017-11-30
授权号 ：
CN108121155B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
佐藤一洋宫春隆文
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
刘前红
优先权 ：
CN201711231748.2
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2018-12-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/00
申请日 : 20171130
申请日 : 20171130
2018-06-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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