压印装置和制造物品的方法
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摘要
公开了压印装置和制造物品的方法。本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。
基本信息
专利标题 ：
压印装置和制造物品的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109324476A
申请号 ：
CN201811402119.6
公开（公告）日 ：
2019-02-12
申请日 ：
2015-01-20
授权号 ：
CN109324476B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
佐藤一洋长谷川敬恭松本隆宏
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
宋岩
优先权 ：
CN201811402119.6
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2019-03-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/00
申请日 : 20150120
申请日 : 20150120
2019-02-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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