本发明公开了成像方法，其包括以下步骤：(a)利用对焦模组发射光至置于载台上的样品上；(b)使镜头模组移动到第一设定位置；(c)使镜头模组从第一设定位置以第一设定步长向样品移动并判断对焦模组是否接收到样品反射的光；(d)在对焦模组接收到样品反射的光时，将镜头模组从当前位置移动到第二设定位置，第二设定位置位于第一范围内，第一范围是包括当前位置的、允许镜头模组沿光轴方向移动的一个范围；(e)使镜头模组从第二设定位置以第二设定步长移动，在每步位置利用成像装置对样品进行图像采集，第二设定步长小于第一设定步长；(f)对采集到的图像进行评估，依据获得的图像评估结果，实现对焦。上述成像方法能形成清晰的图像。