氢化且富含三氟化硼同位素的掺杂剂来源的气体组合物
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摘要
本发明涉及一种氢化且富含三氟化硼(BF3)同位素的掺杂剂来源气体组合物。所述组合物含有(i)三氟化硼，其富含高于天然丰度的同位素原子质量11的硼(UB)；和(ii)氢气，以所述组合物中三氟化硼和氢气的总体积计，所述氢气的量是2体积％到6.99体积％。还描述使用所述掺杂剂来源气体组合物的方法，和其对应的相关设备。
基本信息
专利标题 ：
氢化且富含三氟化硼同位素的掺杂剂来源的气体组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109195910A
申请号 ：
CN201780033136.4
公开（公告）日 ：
2019-01-11
申请日 ：
2017-03-27
授权号 ：
CN109195910B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
S·毕晓普S·N·叶达弗O·布莱J·斯威尼唐瀛
申请人 ：
恩特格里斯公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
顾晨昕
优先权 ：
CN201780033136.4
主分类号 ：
C01B35/06
IPC分类号 ：
C01B35/06 H01J37/08 H01J37/317
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B35/00
硼; 其化合物
C01B35/06
硼卤化合物
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2019-02-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 35/06
申请日 : 20170327
申请日 : 20170327
2019-01-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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