本实用新型公开了一种去除三氟化硼中四氟化硅的装置，包括精馏塔；冷凝器，与所述精馏塔顶部连接；再沸器，与所述精馏塔底部连接；三氟化硼钢瓶，与所述冷凝器连接；四氟化硅钢瓶，与所述再沸器连接；温度控制装置，外置于所述精馏塔，分别与所述精馏塔和所述再沸器连接，并通过所述再沸器控制所述精馏塔底部的温度；所述精馏塔内安装有电伴热保温系统，控制所述精馏塔内部的温度；本实用新型采用两种温度控制模式同时进行，分别控制精馏塔和塔底温度，温度控制精准，将温度控制在三氟化硼和四氟化硅两个沸点之间，实现三氟化硼气化进入冷凝塔，四氟化硅液化后进入再沸塔，实现两个沸点接近、性质相近的两个物质实现有效分离。