感光性树脂组合物、使用了其的干式膜、印刷布线板及印刷布线...
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摘要
本发明提供对于投影式曝光、直描曝光机的任一种均无需进行组成的微调即可应用、且难以发生抗蚀图案底部被挖去的底切及抗蚀图案上部的缺失、能够形成抗蚀图案截面的深度方向上的中间部(中央部)及最深部(底部)的线宽难以大于表面部的线宽(即抗蚀图案轮廓的深度方向上的直线性良好)的优异截面形状的抗蚀图案、进而绝缘可靠性或耐开裂性等可靠性优异的感光性树脂组合物,使用了该感光性树脂组合物的干式膜,印刷布线板及印刷布线板的制造方法。本发明的感光性树脂组合物含有(A)含酸改性乙烯基的环氧树脂、(B)光聚合引发剂、(C)含二苯甲酮化合物的光聚合增感剂、以及(D)光聚合性化合物。
基本信息
专利标题 :
感光性树脂组合物、使用了其的干式膜、印刷布线板及印刷布线板的制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110521290A
申请号 :
CN201780089117.3
公开(公告)日 :
2019-11-29
申请日 :
2017-03-30
授权号 :
CN110521290B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
古室伸仁代岛雄汰小岛正幸入泽真治大崎真也
申请人 :
日立化成株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
永新专利商标代理有限公司
代理人 :
白丽
优先权 :
CN201780089117.3
主分类号 :
H05K3/28
IPC分类号 :
H05K3/28 C08G59/17 G03F7/004 G03F7/027 G03F7/029 G03F7/031
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法律状态
2022-04-05 :
授权
2019-12-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05K 3/28
申请日 : 20170330
申请日 : 20170330
2019-11-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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