本发明公开了一种光罩容器，用于容设极紫外光光罩。光罩容器包括外盒总成及内盒总成，外盒总成用以容置内盒总成。内盒总成包括基座以及上盖。基座具有上表面及周缘，上表面设有多个定位件以界定出光罩承载位置。周缘连接并且围绕上表面。上表面包括承载面、沟槽及第一接面。光罩设置于光罩承载位置，以承载在承载面上。沟槽具连续环状结构，底部低于承载面。承载面、沟槽及第一接面依序由上表面内侧朝周缘配置。上盖具有凹腔及第二接面。凹腔用于容纳光罩，第二接面与第一接面配合以形成密封状态。基座上利用连续环状结构的沟槽来捕获或容置微粒，降低微粒移动到承载面与光罩间的机会，减缓光罩被微粒污染的问题。