光罩盒门和光罩容器
授权
摘要
本实用新型涉及一种光罩盒门和光罩容器。所述光罩盒门包含具有透镜、侧壁及凸缘的视窗。所述视窗可在壳体与盖板之间定位或附贴在门内部。压缩密封件可与所述视窗结合使用。所述侧壁、所述凸缘及所述压缩密封件协作以在维持所期望的保护水平而不受外部污染物影响的同时在所述门中达成压缩配合。
基本信息
专利标题 ：
光罩盒门和光罩容器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022258503.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
CN213240796U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
S·D·埃格刚A·M·蒂本B·怀斯曼R·V·拉施克王华平
申请人 ：
恩特格里斯公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李婷
优先权 ：
CN202022258503.2
主分类号 ：
G03F1/66
IPC分类号 ：
G03F1/66
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/66
专门适用于掩膜，空白掩膜或薄膜的容器；其制备
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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