一种离线式光罩盒光罩固定机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种离线式光罩盒光罩固定机构，包括：光罩盒和光罩，所述光罩盒分为上罩和下罩，所述光罩设置在上罩和下罩之间，所述上罩的内壁上安装有上固定机构，所述下罩的内壁上安装有下固定机构；所述上固定机构和下固定机构的结构相同且分别设置有4个，所述上固定机构包括固定板、弯曲段、托钩和螺母柱，所述上固定机构通过螺母柱并采用螺栓与上罩固定连接，所述下固定机构通过螺母柱并采用螺栓与下罩固定连接。本实用新型光罩支撑采用半圆支撑的固定方式，固定结构简单可靠；光罩左右圆弧面接触确保接触mask四角，接触面小，且带斜面导向，确保mask的有效固定。
基本信息
专利标题 ：
一种离线式光罩盒光罩固定机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021945920.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213149469U
授权日 ：
2021-05-07
发明人 ：
童明
申请人 ：
上海赛瑾精密科技有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区澄浏公路52号39幢2楼J2583室
代理机构 ：
上海领洋专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
俞晨波
优先权 ：
CN202021945920.8
主分类号 ：
G03F1/66
IPC分类号 ：
G03F1/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/66
专门适用于掩膜，空白掩膜或薄膜的容器；其制备
法律状态
2021-05-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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