光罩洗剂供应装置及光罩清洗机

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摘要

本实用新型提供了一种光罩洗剂供应装置及光罩清洗机，属于物料供应装置技术领域，其旨在解决光罩洗剂供应装置，需人工对洗剂桶的库存剩余量进行清点而导致作业效率低以及人力成本增加的问题；所述光罩洗剂供应装置包括数据分析系统、阅读器以及与阅读器信号连接的信号收发天线；洗剂桶分别设置有芯片，芯片与信号收发天线连接；信号收发天线形成的磁场覆盖洗剂柜，阅读器的信号接收端与信号收发天线信号连接，阅读器的数据输出端与数据分析系统信号连接；当洗剂桶装入及移出洗剂柜时，数据分析系统分别进行记录。本实用新型提供的光罩洗剂供应装置及光罩清洗机，其能够监控洗剂桶的使用量，提升了作业效率及降低了人力成本。

基本信息

专利标题：

光罩洗剂供应装置及光罩清洗机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021512362.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-27

授权号：

CN212515864U

授权日：

2021-02-09

发明人：

黄聪戴明鑫史海洋李良赵鹏刘康丁阳春沈晓苑

申请人：

成都中电熊猫显示科技有限公司

申请人地址：

四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

张娜

优先权：

CN202021512362.6

主分类号：

G06K17/00

IPC分类号：

G06K17/00 B08B3/02