光罩导引装置

专利权的终止

摘要

本实用新型关于一种光罩导引(guide)装置，包括一光罩、一承载板、至少一取像模块以及至少二定位模块，其中该光罩用以溅镀导电图案于一工件上，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；该承载板用以承载该光罩与工件，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处；该取像模块用以进行该光罩与工件的对位，设置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及该定位模块用以进行该光罩与工件的定位，分别设置于该承载板二侧的凹陷处。

基本信息

专利标题：

光罩导引装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820008244.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-03-12

授权号：

CN201181390Y

授权日：

2009-01-14

发明人：

郑玉纶

申请人：

钰衡科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台南县安定乡中沙村沙仑39－5号

代理机构：

北京申翔知识产权代理有限公司

代理人：

周春发

优先权：

CN200820008244.4

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 C23C14/04 C23C14/34