光罩盒
专利权的终止
摘要
本实用新型是一种光罩盒结构，特别是有关于一种具有枢纽装置的光罩盒。此一种光罩盒包含：一第一盖体及一第二盖体组合，两者形成一内部空间可容纳一光罩，一枢纽，用以连结第一盖体及第二盖体，其包括一第一连结座固定于第一盖体上，和一第二连结座固定于第二盖体上，此枢纽亦包含一转轴，其两端卡设于些连结座，转轴包含第一部分及与第一部分彼此枢设的第二部分，而第一部分及第二部分彼此接触部分具有高摩擦力表面。
基本信息
专利标题 ：
光罩盒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820207314.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-08-20
授权号 ：
CN201345032Y
授权日 ：
2009-11-11
发明人 ：
陈昶政陈建达邱铭乾
申请人 ：
家登精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台北县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
周长兴
优先权 ：
CN200820207314.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2018-09-14 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20080820
授权公告日 : 20091111
申请日 : 20080820
授权公告日 : 20091111
2009-11-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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