消除设计版图公差的缺陷检测方法及装置

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摘要

本发明公开了一种消除设计版图公差的缺陷检测方法及装置，方法中包含：采集待测物体的图像，对设计版图的与图像相对应的区域的矢量图进行多边形合并，得到多边形矢量图，根据待测物体与设计版图的公差值对多边形矢量图进行整体缩放，并填充多边形矢量图和背景，生成位图，对比图像和位图，检测出待测物体的缺陷，以及重复此过程，直至检测出待测物体整个检测区域的缺陷。本发明可以消除待测物体与设计版图的公差，进而提高检测精度，同时减少伪缺陷的发生。

基本信息

专利标题：

消除设计版图公差的缺陷检测方法及装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109709765A

申请号：

CN201910159105.4

公开（公告）日：

2019-05-03

申请日：

2019-03-04

授权号：

CN109709765B

授权日：

2022-04-01

发明人：

刘若媖刘庄钱锐

申请人：

江苏维普光电科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市新北区华山路18号

代理机构：

常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

肖兴坤

优先权：

CN201910159105.4

主分类号：

G03F1/84

IPC分类号：

G03F1/84 G03F7/20