一种异形工件的曝光装置及曝光方法
授权
摘要
本发明公开了一种异形工件的曝光装置，包括机座，机座上设置有工作平台，工作平台上滑动安装有由X动力装置驱动的X滑座，X滑座上设置有固定座，固定座上设置有粗定位装置，工作平台上设置有安装架，安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，Y滑座上安装有用于对异形工件进行精定位的精定位检测相机。另外，本发明还公开了使用上述曝光装置的曝光方法，该曝光装置和曝光方法可以对异形工件进行直接激光成像，图像解析度更高，曝光效率更高。
基本信息
专利标题 ：
一种异形工件的曝光装置及曝光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110727177A
申请号 ：
CN201910901300.X
公开（公告）日 ：
2020-01-24
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
CN110727177B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
马迪吴景舟陈亮陈国军王群朱鹏飞孙行冯梦飞潘钰
申请人 ：
钧迪智能装备科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号锐晶大厦B座1号101室、B座2层钧迪智能装备科技（苏州）有限公司
代理机构 ：
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李宏伟
优先权 ：
CN201910901300.X
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-02-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20190923
申请日 : 20190923
2020-01-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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