一种异形面曝光装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种异形面曝光装置，包括机座，机座上设置有工作平台，工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，X滑座上设置有至少一个固定座，工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，固定座的上表面与工件的下表面形状适配，固定座上设置有负压吸附孔，负压吸附孔与负压系统连通，固定座上设置有粗定位装置，工作平台上设置有安装架，安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，Y滑座上安装有精定位检测相机。该曝光装置可以主动调节曝光头组件的焦距以实现异形面的直接激光成像，图像解析度更高，曝光效率更高。
基本信息
专利标题 ：
一种异形面曝光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921588249.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
CN210323767U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
吴景舟陈亮其他发明人请求不公开姓名
申请人 ：
钧迪智能装备科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号锐晶大厦B座1号101室、B座2层钧迪智能装备科技（苏州）有限公司
代理机构 ：
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李宏伟
优先权 ：
CN201921588249.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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