一种曝光机及其对位方法

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摘要

一种曝光机，其包括底座，设置于底座上的龙门机构，固定在所述龙门机构上的对位系统，设置于所述底座的多轴运动机构，置于所述多轴运动机构上的基板平台，所述对位机构包括位于两端的对位相机，位于对位相机之间的对准机构，所述基板平台包括分区域真空吸盘，可放置至少两个曝光基板，所述对准机构负责相邻曝光基板相邻边的对位。所述曝光机及其对位方法，能够快速有效的对多片相同或不同的基板进行对位曝光作业，同时也能很好的满足曝光图形的质量。

基本信息

专利标题：

一种曝光机及其对位方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111025852A

申请号：

CN201910946361.8

公开（公告）日：

2020-04-17

申请日：

2019-10-04

授权号：

CN111025852B

授权日：

2022-04-01

发明人：

刘栋张雷

申请人：

苏州源卓光电科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201910946361.8

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20