一种自动对位曝光设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种自动对位曝光设备,包括光源模组和对位模组,还包括第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位,所述第一曝光工位和第二曝光工位分别设置在所述进出料工位的两侧;所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上均设有一工作框模组,三个所述工作框模组分别与一导向模组连接,以实现三个所述工作框模组在所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位之间的相互切换;所述光源模组位于所述第一曝光工位或所述第二曝光工位上;所述对位模组位于所述第一曝光工位上或所述第二曝光工位上。本实用新型可同时进行对位曝光和进/出料,或同时进行对位、曝光以及进/出料,大大提高了该自动对位曝光设备的产能。

基本信息
专利标题 :
一种自动对位曝光设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921812097.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-26
授权号 :
CN210573188U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
陈志特王华何增灿黄海浩
申请人 :
东莞科视自动化科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
代理机构 :
东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
成伟
优先权 :
CN201921812097.0
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  G03F9/00  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-03-02 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G03F 7/20
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞科视自动化科技有限公司
变更后 : 广东科视光学技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
变更后 : 523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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