一种光罩放置装置，其包含一盒体及数个弹性定位单元，该数个弹性定位单元对应设置于该盒体内的各角落，该弹性定位单元包含一底座、一支撑面、一抵接面、一顶抵部及一侧抵部，该底座与该盒体连结，并延伸形成该支撑面，该抵接面的两端形成一第一连接部及一第二连接部，该支撑面的一端连接该第一连接部，该支撑面与该抵接面之间保持一距离，该第二连接部向上延伸形成该顶抵部，且该抵接面的侧缘向上延伸形成该侧抵部。从而经由该支撑面、抵接面、顶抵部及侧抵部将一光罩定位于该盒体内。