光罩贴片装置

授权

摘要

本实用新型实施例提供一种光罩贴片装置，所述装置包括用于承载待贴片光罩的光罩承载台、用于供应垫片的供料台、用于将垫片从供料台转移并贴合至待贴片光罩上的待贴片位置的移送及贴合机构、组装于光罩承载台的上方供操作人员观察待贴片光罩上与待贴片位置具有唯一对应关系的标识点的显微镜以及与光罩承载台相连用于驱动承载有待贴片光罩的光罩承载台相应运动以将待贴片光罩上的标识点移动至显微镜的观察视野中心位置的驱动机构，显微镜的镜筒中轴线与移送及贴合机构在转移和贴合垫片时垫片中心点的移动轨迹平面的间距与待贴片位置中心点与标识点的间距适配。本实施例贴片效率高，待贴片光罩的标识点细微，通过显微镜观察，保证贴片位置的精确。

基本信息

专利标题：

光罩贴片装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921530985.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-12

授权号：

CN210377019U

授权日：

2020-04-21

发明人：

杜武兵司继伟黄国勇

申请人：

深圳市路维光电股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102

代理机构：

深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

黄莉

优先权：

CN201921530985.3

主分类号：

G03F1/68

IPC分类号：

G03F1/68