光罩盒及光罩传送盒
专利权的终止
摘要
本实用新型的光罩盒，用于避免环境中微粒对光罩造成污染，以及防止电荷累积产生的静电放电破坏。此光罩盒由两盖体所组成；其中至少一个盖体的材料为高分子材质搀杂金属，此金属可以是不锈钢丝、可导电的金属丝或金属微粒。
基本信息
专利标题 ：
光罩盒及光罩传送盒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720150387.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-06-28
授权号 ：
CN201097111Y
授权日 ：
2008-08-06
发明人 ：
李柏欣
申请人 ：
家登精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省台北县树林市八德街428号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
高翔
优先权 ：
CN200720150387.4
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2017-07-25 ：
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736767954
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007201503874
申请日 : 20070628
授权公告日 : 20080806
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101736767954
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007201503874
申请日 : 20070628
授权公告日 : 20080806
终止日期 : 无
2008-08-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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