光罩盒

专利权的终止

摘要

本实用新型一种光罩盒，可与一充气装置结合。此光罩盒有一顶盖以及一基座，两盖体组合可以形成一内部空间，容置至少一光罩。而其基座具有一本体，该本体上具有多个通孔，该通孔两端分别有一内部开口以及一外部开口；多个舌片，分别设于该通孔的内部开口上，可弹性封闭这些通孔，充气装置可经该通孔将气体填充入光罩盒内部，通过气体填充光罩盒内部，可以达到有效清洁光罩的目的，增加光罩安全性。

基本信息

专利标题：

光罩盒

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720139140.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-09-05

授权号：

CN201112367Y

授权日：

2008-09-10

发明人：

邱铭隆

申请人：

家登精密工业股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台北县

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周国城

优先权：

CN200720139140.2

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L21/677 G03F1/00 G03F7/20 B65D81/18