光罩夹
专利权的终止
摘要

一种光罩夹,它包括铰接在一起的一对夹臂组件,夹臂组件包括握持部、自握持部弯折的肩部、自肩部向远离握持部的方向延伸的臂部以及与臂部相连的夹持部,夹持部自臂部弯折而成并沿垂直于臂部的方向延伸,一对夹臂组件上的夹持部相互平行,夹持部上可拆卸地连接有用于夹取光罩的夹爪;一对夹臂组件的铰接处位于握持部上,并且握持部位于光罩夹的中部,夹爪与握持部之间还设置有防护杆。本实用新型的优点在于:握持部位于光罩夹的中部,利于控制重心和夹紧力量;缩短握持部的长度,利于在狭小空间内活动;另外,设置防护杆,可防止手触摸到光罩图形区域以保护光罩。

基本信息
专利标题 :
光罩夹
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820032259.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-02-20
授权号 :
CN201156161Y
授权日 :
2008-11-26
发明人 :
陈兴盖
申请人 :
和舰科技(苏州)有限公司
申请人地址 :
215025江苏省苏州市工业园区星华街333号
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
孙仿卫
优先权 :
CN200820032259.4
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  G03F1/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2011-04-27 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101065099611
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2008200322594
申请日 : 20080220
授权公告日 : 20081126
终止日期 : 20100220
2008-11-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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