金属光罩盒

专利权的终止

摘要

本实用新型提供一种金属光罩盒，其由金属上盖体与金属下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，金属光罩盒具有至少一零件与至少一锁固件，该零件设于金属上盖体或金属下盖体上，其可为接合机构、锁扣件或扣压件，该锁固件将零件固设于金属上盖体或金属下盖体上，其可为铆钉或螺丝。

基本信息

专利标题：

金属光罩盒

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720125596.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-09-29

授权号：

CN201107547Y

授权日：

2008-08-27

发明人：

陈建达邱铭乾

申请人：

家登精密工业股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台北县

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周长兴

优先权：

CN200720125596.3

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 H01L21/673

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2017-10-31 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20070929
授权公告日 : 20080827

2008-08-27 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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