金属光罩盒
专利权的终止
摘要
本实用新型提供一种金属光罩盒,其由金属上盖体与金属下盖体组合而成,形成一内部空间可容纳光罩,金属光罩盒具有至少一零件与至少一锁固件,该零件设于金属上盖体或金属下盖体上,其可为接合机构、锁扣件或扣压件,该锁固件将零件固设于金属上盖体或金属下盖体上,其可为铆钉或螺丝。
基本信息
专利标题 :
金属光罩盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720125596.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-29
授权号 :
CN201107547Y
授权日 :
2008-08-27
发明人 :
陈建达邱铭乾
申请人 :
家登精密工业股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台北县
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
周长兴
优先权 :
CN200720125596.3
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20 H01L21/673
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2017-10-31 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20070929
授权公告日 : 20080827
申请日 : 20070929
授权公告日 : 20080827
2008-08-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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