一种光罩清洗机

授权

摘要

本实用新型涉及一种光罩清洗机，包括清洗机本体，所述清洗机本体内腔挖设有工作腔，所述工作腔内腔底面通过滑轨连接有工作板，所述工作板两端通过带动组件滑动连接有限位组件，所述带动组件包括滑槽、滑块与电液推杆，所述滑槽对称挖设于工作板两端，所述滑块滑动设置于滑槽中，所述电液推杆设置于滑槽一侧，且所述电液推杆输出端连接滑块，所述放置盒内腔底面设置有调速电机，位于右侧的所述阻尼转轴连接于调速电机输出端，且所述调速电机与放置盒贯通处设置有密封垫片，所述工作腔内腔底面两侧对称挖设有多个进水口，所述工作腔两端对称设置有可视玻璃，提高了清洗效率，并在清洗时转动，使得全方位清洗。

基本信息

专利标题：

一种光罩清洗机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021426291.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-20

授权号：

CN213378172U

授权日：

2021-06-08

发明人：

刘金升沙永健

申请人：

苏州施密科微电子设备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市相城区太平街道聚金路5号

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

王利斌

优先权：

CN202021426291.8

主分类号：

B08B3/04

IPC分类号：

B08B3/04 H01L21/67