一种纳米尺度极低热导的原位表征装置
授权
摘要
本申请公开了一种纳米尺度极低热导的原位表征装置，用于检测一被测热电材料样品的微区热导，包括：一纳米尺度热学信号原位激励模块，用于原位激发与所述被测材料接触前后的微区热导相关的一倍频、三倍频热学信号；一纳米尺度热学信号原位检测模块，用于实现所述一倍频、三倍频热学信号的原位实时检测和处理，并显示微区热导的原位表征结果；所述热电探针加热频率在90Hz～760Hz范围内，ΔV3ω与lnω呈线性关系，根据其线性部分的斜率则可定量表征出所述微区热导λs。本申请将原子力显微镜纳米检测功能、探针焦耳热效应、热检测的三倍频激发与线热源模型相结合，建立其基于原子力显微镜的纳米尺度极低热导的原位表征装置。
基本信息
专利标题 ：
一种纳米尺度极低热导的原位表征装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110579628A
申请号 ：
CN201810595102.0
公开（公告）日 ：
2019-12-17
申请日 ：
2018-06-11
授权号 ：
CN110579628B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
曾华荣陈立东徐琨淇赵坤宇李国荣
申请人 ：
中国科学院上海硅酸盐研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区定西路1295号
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
郭蔚
优先权 ：
CN201810595102.0
主分类号 ：
G01Q60/24
IPC分类号 ：
G01Q60/24 G01Q30/00 G01Q30/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2021-06-11 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 60/24
申请日 : 20180611
申请日 : 20180611
2019-12-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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