加热器故障检测装置及方法、加热系统、半导体加工设备

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摘要

本发明提供一种加热器故障检测装置、加热系统、加热器故障检测方法和半导体加工设备。该加热腔故障检测装置包括电流互感模块和控制模块；所述电流互感模块，用于感应加热器所在加热回路上的电流信号并发送至所述控制模块；所述控制模块，用于根据所述电流互感模块感应到的电流信号计算提供至所述加热器的实际输入功率，并通过所述实际输入功率、预设输入功率以及偏差功率来判断所述加热器是否故障，其中，所述偏差功率是指在所述电流互感模块的一次侧电流为零的情况下所述控制模块施加电源后检测出的自身功率。实现加热回路故障的实时准确判定。

基本信息

专利标题：

加热器故障检测装置及方法、加热系统、半导体加工设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110646684A

申请号：

CN201810680897.5

公开（公告）日：

2020-01-03

申请日：

2018-06-27

授权号：

CN110646684B

授权日：

2022-06-14

发明人：

程旭文

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司

代理人：

彭瑞欣

优先权：

CN201810680897.5

主分类号：

G01R31/00

IPC分类号：

G01R31/00