一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法
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摘要
本发明公开了一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法，方法包括：将三维原子探针近局域电极装于聚焦离子束样品台上，将带三维原子探针近局域电极的样品台放置在聚焦离子束中；在聚焦离子束中，倾转样品台，调整成像补偿角度，调整工作距离；将要切的三维原子探针近局域电极在FIB图像模式下对齐到最中心；将FIB的环切环的外环与三维原子探针近局域电极中心环上的突起缺陷的根部对齐，内环与中心环上突起缺陷的顶端边缘对齐，环切到三维原子探针近局域电极环表面无杂质。本发明提供的清理方法，通过聚焦离子束清理局域电极，实现了三维原子探针近局域电极的彻底清理，尤其是内部的彻底清理，节约了成本。
基本信息
专利标题 ：
一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109261646A
申请号 ：
CN201810917874.1
公开（公告）日 ：
2019-01-25
申请日 ：
2018-08-13
授权号 ：
CN109261646B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
艾自红安志恒沙刚靳慎豹胡蓉
申请人 ：
南京理工大学
申请人地址 ：
江苏省南京市孝陵卫200号
代理机构 ：
南京理工大学专利中心
代理人 ：
邹伟红
优先权 ：
CN201810917874.1
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2019-02-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 7/00
申请日 : 20180813
申请日 : 20180813
2019-01-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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