本发明提供一种半导体产品良率分析方法、分析系统及计算机存储介质，不仅对机台的相关性进行了分析，同时还增加了机台的出货连续性和机台数量等资料的佐证分析,并分别为各个工艺制程以及各个机台在各个工艺制程下的相关性、连续性等打出相应的分数，由此，可以得到各个工艺制程对应所有机台的相关性分数、连续性分数以及机台数量，或者，得到各个机台对应所有工艺制程的相关性分数、连续性分数以及坏货批数量，并将各个工艺制程或各个机台的相关性分数、连续性分数等数据分数乘以相应的比重而叠加，进而根据叠加后的分数的高低快速地找出与良率问题最强相关的问题机台。本发明能够提高良率分析的精准性和速度。