半导体产品良率分析方法、分析系统及计算机存储介质
授权
摘要
本发明提供一种半导体产品良率分析方法、分析系统及计算机存储介质,不仅对机台的相关性进行了分析,同时还增加了机台的出货连续性和机台数量等资料的佐证分析,并分别为各个工艺制程以及各个机台在各个工艺制程下的相关性、连续性等打出相应的分数,由此,可以得到各个工艺制程对应所有机台的相关性分数、连续性分数以及机台数量,或者,得到各个机台对应所有工艺制程的相关性分数、连续性分数以及坏货批数量,并将各个工艺制程或各个机台的相关性分数、连续性分数等数据分数乘以相应的比重而叠加,进而根据叠加后的分数的高低快速地找出与良率问题最强相关的问题机台。本发明能够提高良率分析的精准性和速度。
基本信息
专利标题 :
半导体产品良率分析方法、分析系统及计算机存储介质
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110909968A
申请号 :
CN201811081941.7
公开(公告)日 :
2020-03-24
申请日 :
2018-09-17
授权号 :
CN110909968B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
智云
优先权 :
CN201811081941.7
主分类号 :
G06Q10/06
IPC分类号 :
G06Q10/06 G06Q50/04
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法;其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10/00
行政;管理
G06Q10/06
资源、工作流、人员或项目管理,例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源;企业规划;组织模型
法律状态
2022-04-08 :
授权
2020-04-17 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06Q 10/06
申请日 : 20180917
申请日 : 20180917
2020-03-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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