波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备
授权
摘要

一种波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备,可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降。该波长可变干涉滤波器包括:可动部,具有在第一方向上与第一反射镜相对的反射镜区域;以及电极,在从所述第一方向观察的俯视下,配置于所述反射镜区域的外侧,沿周向包围所述反射镜区域,并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移,所述电极在所述俯视下的宽度在所述周向上不同。

基本信息
专利标题 :
波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109814246A
申请号 :
CN201811379050.X
公开(公告)日 :
2019-05-28
申请日 :
2018-11-19
授权号 :
CN109814246B
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
佐野朗
申请人 :
精工爱普生株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
玉昌峰
优先权 :
CN201811379050.X
主分类号 :
G02B26/00
IPC分类号 :
G02B26/00  G02B5/28  G01J1/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
法律状态
2022-05-10 :
授权
2020-11-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/00
申请日 : 20181119
2019-05-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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