考虑机台交互作用的辨识良率损失原因的系统与方法
授权
摘要
一种考虑机台交互作用的辨识良率损失原因的系统与方法。本发明实施例提供一种双阶段(Two‑Phase)处理过程，以寻找生产线的良率损失的根本原因。在第一阶段中，辨识出可能会引起良率损失的两制程机台间、两参数间、或制程机台与参数间的交互作用。在第二阶段中，获得第一阶段所发现的会引起良率损失的参数的门槛值，据以调整制程来提升良率。在每一个阶段中，可使用两个不同的演算法来产生一信赖指标(RII)，以评估其搜寻结果的可靠程度。
基本信息
专利标题 ：
考虑机台交互作用的辨识良率损失原因的系统与方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110503288A
申请号 ：
CN201811445872.3
公开（公告）日 ：
2019-11-26
申请日 ：
2018-11-29
授权号 ：
CN110503288B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
林晋逸谢昱铭郑芳田
申请人 ：
郑芳田
申请人地址 ：
中国台湾台南市北区开南街275巷7弄42号
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201811445872.3
主分类号 ：
G06Q10/06
IPC分类号 ：
G06Q10/06 G06Q50/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10/00
行政；管理
G06Q10/06
资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2019-12-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06Q 10/06
申请日 : 20181129
申请日 : 20181129
2019-11-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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