本实用新型公开了一种半导体设备的器材清洗装置，包括箱体、调节机构、置放机构和储水箱，箱体正面中部通过可折叠辊轴转动连接有箱门，箱体内壁中部安装有清洗槽，利用四组置放机构，可以安放多件晶圆同时进行清洗，工作效率高，通过压缩弹簧与上盖板可以对晶圆进行固定，避免其清洗时掉落，同时利用通孔便于清洗液对晶圆进行全方位清洗；利用液位传感器、水泵、输水管和电磁阀，可以通过液位传感器对清洗槽内清洗液的含量进行探测并把数据传递给PLC控制器，以此PLC控制器打开水泵与电磁阀，把储水箱内清洗液经输水管导入清洗槽内，实现自动供液，实用性强。