一种用于高频应用的探针卡
授权
摘要
一种电子器件的测试装置的探针卡(20)包括测试头(21)、支撑板(23)和柔性膜(25)，所述测试头(21)容纳沿第一端部(24A)和第二端部(24B)之间的纵向轴线(H‑H)延伸的多个接触元件(22)，所述第一端部(24A)适于抵靠在所述支撑板(23)上。适当地，所述测试头(21)设置在所述支撑板(23)和所述柔性膜(25)的所述第一部分(25A)之间，所述柔性膜(25)通过其第二部分(25B)连接到所述支撑板(23)，所述探针卡(20)还包括布置在所述柔性膜(25)的第一部分(25A)处的所述柔性膜(25)的第一面(F1)上的多个接触尖端(27)，各接触元件(22)的所述第二端部(24B)适于抵靠在所述柔性膜(25)的第二面(F2)上，所述第二面(F2)与所述第一面(F1)相对，所述接触元件(22)的数量和分布与所述接触尖端(27)的数量和分布不同。
基本信息
专利标题 ：
一种用于高频应用的探针卡
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110291407A
申请号 ：
CN201880011726.1
公开（公告）日 ：
2019-09-27
申请日 ：
2018-02-14
授权号 ：
CN110291407B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
斯太法罗·费利奇
申请人 ：
泰克诺探头公司
申请人地址 ：
意大利莱科
代理机构 ：
北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
方挺
优先权 ：
CN201880011726.1
主分类号 ：
G01R1/073
IPC分类号 ：
G01R1/073 G01R31/28 G01R1/067
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-03-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 1/073
申请日 : 20180214
申请日 : 20180214
2019-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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