一种应用于探针台的电荷排布装置
授权
摘要
本实用新型属于半导体测试设备技术领域，具体涉及一种应用于探针台的电荷排布装置。本实用新型包括通过连接板固定在探针平台上且左右两侧均开设有定位通孔的密封顶盖、设置在探针平台上的保护层、设置在探针平台与保护层之间的绝缘层、固定在探针平台左右两侧的侧板、固定在探针平台前后两端的前板和后板、通过支撑垫块固定在探针台底座上的支撑骨架、卡设在支撑骨架上的滑动底板组件；探针台的载物台穿过滑动底板组件转动连接在探针台底座上。通过管理电荷排布结构，使测试物处于一个“法拉第笼”腔体中，通过对探针台各结构的电势排布管理，减少了寄生电容、接地环路电流等不利于集成电路测试的因素的发生，从而提高了探针台的测试能力。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于探针台的电荷排布装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021140814.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-18
授权号 ：
CN212379518U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
刘伟张海洋吕文波
申请人 ：
苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7楼305室
代理机构 ：
常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈丽萍
优先权 ：
CN202021140814.2
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R1/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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