电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法
授权
摘要
本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器(121、122)，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部(103)，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器(104)，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息(510)显示到观察辅助画面(401)。
基本信息
专利标题 ：
电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110770875A
申请号 ：
CN201780089056.0
公开（公告）日 ：
2020-02-07
申请日 ：
2017-04-21
授权号 ：
CN110770875B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
沼田由起佐藤博文川俣茂
申请人 ：
株式会社日立高新技术
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
曾贤伟
优先权 ：
CN201780089056.0
主分类号 ：
H01J37/28
IPC分类号 ：
H01J37/28 H01J37/22 H01J37/24
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
H01J37/28
带有扫描射束的
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-03-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/28
申请日 : 20170421
申请日 : 20170421
2020-02-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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