使用多波长电荷控制器的带电粒子检查系统和方法
公开
摘要
一种用于检查衬底的装置和检查衬底的方法，其中带电粒子束被布置为撞击衬底的一部分，并且具有第一波长的第一光束和具有第二波长的第二光束也被布置为撞击衬底的一部分，该第二波长与第一波长不同。
基本信息
专利标题 ：
使用多波长电荷控制器的带电粒子检查系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616643A
申请号 ：
CN202080073929.0
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张剑叶宁王義向方杰
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
赵林琳
优先权 ：
CN202080073929.0
主分类号 ：
H01J37/28
IPC分类号 ：
H01J37/28 H01J37/22 G01N23/2251
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
H01J37/28
带有扫描射束的
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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