公开了一种用于增强图像的改进装置和方法，更具体地，公开了一种用于通过多带电粒子束检查中的串扰消除来增强图像的装置和方法。一种用于增强图像的方法包括从多束检查系统的检测器获取多个图像信号的第一图像信号。第一图像信号对应于来自检测器的第一区域的检测信号，其中第一二次电子束的电子和第二二次电子束的电子入射在该第一区域上。该方法还包括使用第一图像信号和与第一二次电子束和第二二次电子束相关联的束强度之间的关系，从第一图像信号中减少源自第二二次电子束的串扰污染。该方法还包括在减少后，生成对应于第一二次电子束的第一图像。