电子束蒸发器、涂布设备和涂布方法
授权
摘要
根据各种实施例，电子束蒸发器(100)可以包括以下部分：管状靶(102)；电子束枪(104)，用于借助于电子束(104e)在管状靶(102)的移除表面(102f)上生成至少一个蒸汽源(102q)；其中移除表面(102f)是管状靶(102)的环形轴向端面或成圆锥形地或以弯曲的方式从自由端边缘延伸的表面。
基本信息
专利标题 ：
电子束蒸发器、涂布设备和涂布方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110325662A
申请号 ：
CN201880012919.9
公开（公告）日 ：
2019-10-11
申请日 ：
2018-02-23
授权号 ：
CN110325662B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
埃克哈特·赖因霍尔德约尔格·法贝尔
申请人 ：
冯·阿登纳资产股份有限公司
申请人地址 ：
德国德累斯顿
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
王小衡
优先权 ：
CN201880012919.9
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30 C23C14/54
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2019-11-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/30
申请日 : 20180223
申请日 : 20180223
2019-10-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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