具有改进的频率性能的垂直探针测试头

授权

摘要

一种测试头(20)，适于校验集成在半导体晶片上的被测器件的工作，所述测试头(20)包括：至少一个导引件(40)，包括多个导引孔(40h)并且多个接触元件(21)容纳在所述多个导引孔(40h)中。适合地，至少一个导引件(40)包括多个导电层(30a‑30n)，每个导电层包括对应组(40a‑40n)所述导引孔(40h)的孔并且电连接容纳在所述组(40a‑40n)所述导引孔(40h)中的对应组的所述接触元件(21)，其中每个对应组的接触元件适于运载同一类型的信号。

基本信息

专利标题：

具有改进的频率性能的垂直探针测试头

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110325866A

申请号：

CN201880013815.X

公开（公告）日：

2019-10-11

申请日：

2018-02-22

授权号：

CN110325866B

授权日：

2022-04-08

发明人：

罗伯特·克里帕拉斐尔·瓦劳利

申请人：

泰克诺探头公司

申请人地址：

意大利莱科

代理机构：

北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

方挺

优先权：

CN201880013815.X

主分类号：

G01R1/073

IPC分类号：

G01R1/073