基于微机电系统的垂直探针

授权

摘要

本实用新型公开了一种基于微机电系统的垂直探针，包括探针主体，所述探针主体包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部、第二端部之间，分别与第一端部、第二端部相连的弹性连接部，所述第一端部、第二端部、弹性连接部为一体结构，所述弹性连接部与所述第二端部形成连续的半圆弧状结构，所述探针主体采用光化学蚀刻制作而成。本实用新型的垂直探针的尺寸误差较小，产品的一致性较好，从而避免了在测试过程中由于尺寸误差导致的测试误差。

基本信息

专利标题：

基于微机电系统的垂直探针

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021560664.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-31

授权号：

CN212341282U

授权日：

2021-01-12

发明人：

殷岚勇吴彦

申请人：

苏州韬盛电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区唯文路18号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021560664.0

主分类号：

G01R1/067

IPC分类号：

G01R1/067