本发明提供的一种屏蔽探针装置、低温探针台及低温探针系统，对信号传输线路提供电磁屏蔽和热辐射屏蔽。屏蔽组件外表面设有导电层作为信号地层，并与信号连接器外导体相连，使导电组件的电磁屏蔽具有完整性，可以降低电磁干扰影响，有利于样品特性参数的精确测量。导电组件置于屏蔽组件的屏蔽内腔中，屏蔽组件外表面具有隔热层，可以降低屏蔽探针装置与探针‑样品接触区域之间的热辐射从而增加温度稳定性。