纳米探针台高低温测试辅助工具
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具,用于将一样品固定器固定在纳米探针台上,包括两个夹持臂、两个固定半环及至少一个锁紧环,两个夹持臂的一端相互连接,两个夹持臂的另一端分别与两个固定半环连接,两个夹持臂的另一端能够相对运动以使两个固定半环相互靠近并从样品固定器的两侧夹紧样品固定器,两个夹持臂上对应设置有至少一个锁紧槽,锁紧环卡入两个夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个夹持臂的张开角度,旋转两个夹持臂能够带动样品固定器旋转。通过用手操纵两个夹持臂夹紧样品固定器,然后再将锁紧环固定张开角度,通过人手旋转夹持臂来带动样品固定器旋转,避免了用手直接旋转样品固定器易触碰到纳米探针台上的探针的问题。

基本信息
专利标题 :
纳米探针台高低温测试辅助工具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114544685A
申请号 :
CN202210120015.6
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵新伟高金德
申请人 :
上海华力微电子有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
钟玉敏
优先权 :
CN202210120015.6
主分类号 :
G01N23/2251
IPC分类号 :
G01N23/2251  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/225
利用电子或离子微探针
G01N23/2251
使用入射电子束,例如扫描电子显微镜
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/2251
申请日 : 20220127
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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