一种低温探针台及其测试腔组件
授权
摘要
本实用新型涉及一种低温探针台及其测试腔组件，测试腔组件包括外壳和外壳上盖板，外壳和外壳上盖板形成测试腔，外壳上盖板上设置有用于供显微镜观察的观察窗，测试腔内设置有供测试件放置的载物台和探针，该测试腔组件还包括用于对载物台进行降温的半导体制冷器，半导体制冷器的冷端与载物台接触以对载物台及其上的测试件进行降温处理。在测试时，将测试件放置于测试腔中的载物台上，通过半导体制冷器对载物台进行降温，进而对载物台上的待测试件进行降温，能够研究半导体等材料在低温条件下的性能测试。
基本信息
专利标题 ：
一种低温探针台及其测试腔组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020343379.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-18
授权号 ：
CN211785920U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
宋风宽周昌峰
申请人 ：
郑州科探仪器设备有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层73号
代理机构 ：
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 ：
王学芝
优先权 ：
CN202020343379.7
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 G01R1/067 G01R1/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
